J-50MUV-248 熱釋電激光能量計探頭傳感器
SKU:1191449
800 μJ 至 1J 脈沖能量傳感器,重復(fù)率最高可達(dá) 200 pps,光譜范圍為 0.19 至 0.266 微米,活躍面積為 50 毫米。
主要特色:
? 光譜范圍為193至266納米
? 50毫米活性面積直徑
? 800微焦耳至1焦耳能量范圍
? 200 pps 重復(fù)率操作
? 直接USB接口
? ISO 17025認(rèn)證
這款J-50MUV-248能量傳感器采用MaxUV涂層和擴(kuò)散器,以提升最大能量密度,并優(yōu)化用于193納米ArF激光器和248納米KrF激光器。該傳感器直接校準(zhǔn)為248納米,并支持193納米至266納米的光譜補償。
EnergyMax-USB J-50MUV-248 能量傳感器通過 USB 線連接,直接連接到電腦。有DB25型號(PN 1110572)。
可采用大型散熱器(PN 1123432),通過提升平均功率能力,延長EnergyMax傳感器的能量和重復(fù)率。
技術(shù)參數(shù):
| 電纜類型 | USB |
| 活動面積直徑 | 50mm |
| 探測器涂層 | MaxUV |
| 能量范圍 | 800uJ-1J |
| 波長范圍 | 190 nm - 266 nm |
| 噪聲等效能量 | <80uJ |
| 最大重復(fù)頻率 | 200Hz |
| 最大平均功率 | 15V |
| 最大脈沖寬度 | 86us |
| 最大能量密度 | 200mJ/cm2(@193nm,10納秒) |
| 擴(kuò)散器 | 有 |
| 校準(zhǔn)不確定性(%)(k=2) | ±3 |
| 能量線性(%) | ±3 |
| 校準(zhǔn)波長(納米) | 193 |
| 電纜長度(米) | 3 |
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